Hochauflösendes Positioniersystem für Schrittweiten im Nanometerbereich
Mit dem neuen Lineartisch N-664 ist es Physik Instrumente (PI) gelungen, ein weiteres wegweisendes Piezopositioniersystem der Referenzklasse zu entwickeln.
Im N-664 ersetzt ein NEXACT® Piezolinearantrieb die üblichen Schritt- oder DC-Servomotoren, wodurch eine Positionsauflösung von weit unter einem Nanometer möglich ist. Darauf abgestimmt ist der neuartige optische Linearencoder PIOne mit einer Auflösung von 0,5 nm, wodurch wiederholbar inkrementelle Bewegungen von 2 nm erzielt werden.
Der N-664 ist mit präzisen, belastbaren Kreuzrollenlager aus Edelstahl ausgestattet. Sie geben dem Mikrolineartisch die nötige Belastbarkeit und Führungsgenauigkeit für einen dynamischen Betrieb mit Höchstgeschwindigkeiten von 10 mm/s. Der Linearencoder PIOne arbeitet nach einem interferometrischen Messprinzip und kann so trotz hoher Geschwindigkeiten sehr präzise Messergebnisse im Sub-Nanometerbereich liefern.
Der NEXACT® Antrieb ist als direkter Linearantrieb frei von Präzisionsverlusten und kann die Position im ausgeschalteten Zustand stabil halten. Der Antrieb muss dann nicht bestromt werden und erwärmt sich nicht.
