Als direkter Linearantrieb ist der Schreitantrieb frei von Präzisionsverlusten durch die Umwandlung von Rotations- in lineare Bewegung. Mit hohen Kräften von 10 N und Geschwindigkeiten um 10 mm/s erreicht der N-381 Auflösungen von 20 Nanometern, die Positionsmessung erfolgt über einen integrierten Linearencoder.
Die Position wird im ausgeschalteten Zustand stabil geklemmt, driftet nicht und oszilliert nicht. Der Antrieb muss daher in der Zielposition nicht bestromt werden und erwärmt sich nicht. Das Antriebsprinzip des Piezo-Schreitmotors ermöglicht darüber hinaus sehr hohe Auflösungen innerhalb eines Schreitzyklus. Ungeregelt können so Bewegungen im Bereich eines Nanometers und darunter aufgelöst werden. PI bietet ebenfalls die zum Linearaktor passende Steuerung an.